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MEMS一氧化碳氣體傳感器

MEMS一氧化碳氣體傳感器是精訊暢通基于MEMS工藝而研發(fā)的CO傳感器。MEMS一氧化碳氣體傳感器利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板,采用在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料作為氣敏材料,對一氧化碳氣體的靈敏度高。該一氧化碳傳感器具有體積小、抗震性好、壽命長、穩(wěn)定性好等特點。

產(chǎn)品介紹:

MEMS一氧化碳氣體傳感器是精訊暢通基于MEMS工藝而研發(fā)的CO傳感器。MEMS一氧化碳氣體傳感器利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板,采用在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料作為氣敏材料,對一氧化碳氣體的靈敏度高。該一氧化碳傳感器具有體積小、抗震性好、壽命長、穩(wěn)定性好等特點。

產(chǎn)品參數(shù):

檢測氣體:一氧化碳

CO檢測范圍:0-500ppm

回路電壓Vc:≤24V DC

加熱電壓VH:2.5V土0.1V AVorDC

負載電阻RL:可調(diào)

加熱電阻RH:800+200 (室溫)

加熱功耗PH:≤80mW

敏感體電阻Rs:1KQ~30KQ

靈敏度S:RO/RS≥2

濃度斜率a:≤0.9

溫度:20°C士2°C

濕度:55%RH士5%RH

標準測試電路:VH:2. 8V士0.1V VC:5.0V士0.1V

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