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二氧化氮MEMS氣體傳感器

二氧化氮MEMS氣體傳感器是精訊暢通利用MEMS氣體傳感器技術(shù)制作的二氧化氮傳感器。二氧化氮MEMS氣體傳感器的微熱板是采用MEMS制作的,使用的氣敏材料是金屬氧化物半導(dǎo)體材料。該NO2氣體傳感器具有體積小、諧振頻率高、功耗低、響應(yīng)時(shí)間短等特點(diǎn),表面體積比高可以提高表面?zhèn)鞲衅鞯拿舾谐潭取?/p>

產(chǎn)品介紹:

二氧化氮MEMS氣體傳感器是精訊暢通利用MEMS氣體傳感器技術(shù)制作的二氧化氮傳感器。二氧化氮MEMS氣體傳感器的微熱板是采用MEMS制作的,使用的氣敏材料是金屬氧化物半導(dǎo)體材料。該NO2氣體傳感器具有體積小、諧振頻率高、功耗低、響應(yīng)時(shí)間短等特點(diǎn),表面體積比高可以提高表面?zhèn)鞲衅鞯拿舾谐潭取?/p>

產(chǎn)品特點(diǎn):

回路電壓Vc:≤24VDC

加熱電壓VH:2.5V士0.1V AVorDC

負(fù)載電阻RL:可調(diào)

加熱電阻RH:800+200 (室溫)

加熱功耗PH:≤80mW

敏感體電阻Rs:1KQ~30KQ

靈敏度S:RO/RS≥2

濃度斜率a:≤0.9

溫度:20°C士2°C

濕度:55%RH土5%RH

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試電路:VH:2.8V士0.1V VC:5.0V+0.1V

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