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氫氣MEMS氣體傳感器

氫氣MEMS氣體傳感器是為了降低使用成本、方便家用而研發(fā)的氫氣傳感器。氫氣MEMS氣體傳感器采用微型化設(shè)計(jì),諧振頻率高,功耗低,響應(yīng)時(shí)間短,提高了傳感器本身的靈敏度。利用MEMS工藝制作微熱板,并所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料作。適用于家用等檢測氫氣氣體濃度的場合。

產(chǎn)品介紹:

氫氣MEMS氣體傳感器是為了降低使用成本、方便家用而研發(fā)的氫氣傳感器。氫氣MEMS氣體傳感器采用微型化設(shè)計(jì),諧振頻率高,功耗低,響應(yīng)時(shí)間短,提高了傳感器本身的靈敏度。利用MEMS工藝制作微熱板,并所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料作。適用于家用等檢測氫氣氣體濃度的場合。

產(chǎn)品參數(shù):

檢測氣體:H2

H2測量范圍:0-5000ppm

H2測量靈敏度SRO/RS2

H2濃度斜率a:≤0.9

回路電壓Vc:≤24V DC

加熱電壓VH2.80.1V AVorDC

負(fù)載電阻RL:可調(diào)

加熱電阻RH80?土20?(室溫)

加熱功耗PH:≤80mW

敏感體電阻Rs1K?~30K?

溫度:20°C2°C

濕度:55%RH5%RH

圖片關(guān)鍵詞

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標(biāo)簽: 氫氣MEMS氣體傳感器
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